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The nitride-based material had excellent properties such as high thermal conductivity, high electro…
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本論文以實驗室自行壓製硫氧化物電解質靶材,採用RF反應式濺鍍法進行製備氧硫化物電解質的Li2SnOS薄膜,欲將硫化物電解質之高離子傳導性與氧化物電解質之穩定性相結合,得到兼顧化學安定與高鋰離子傳導的…
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本研究中所使用的金屬硫化物陶金靶材是由本實驗室熱壓機自行壓製而成,利用RF磁控濺鍍法在低沉積溫度下能夠成功地製備出具高電催化特性之Ag/MoSx薄膜。實驗中,探討靶材中不同Ag含量比例,不同硫化物與…
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本研究在玻璃基板上建立半透明微奈米陣列結構,改善玻璃的光學特性,並於奈米結構上方濺鍍金屬鋅,再經過氧化處理成為氧化鋅薄膜,探討光波經過光學薄膜層所產生吸收或穿透的光學改變量。製程主要是利用磁控射頻濺…